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光具備與電磁波相同的波的特性，那么則同樣具有振幅、相位、波長等參數。其中，我們將光傳播時波的周期內一個時間點的位置稱為相位，將光相位相同的點連接成的面叫波前。我們使用反射鏡、透鏡等元件進行的反射、聚焦，從波動的角度看，都是改變了波的相位。也就是說，對光的相位進行操控，便可以實現例如聚焦等效果。
而相位調制除了實現簡單的聚焦，還可以進行更復雜的調制。這時候我們就可以用到一種名為“空間光調制器”（LCOS-SLM）的光學器件，LCOS-SLM可以根據所需空間模式，將入射激光束透過液晶，進行相位、波前的調制，自由地控制光束模式。
LCOS-SLM裝有驅動像素電路的硅基板和帶透明電極的玻璃基板之間夾了液晶層，通過電腦端發出的信號，可以對不同像素施加電壓來控制液晶分子的排列方向。因液晶分子傾斜，透過液晶的光的光程發生改變，進而照射在各個像素上的激光束的相位產生變化，波前也隨之改變。因為光在波前的垂直方向前進，所以通過LCOS-SLM對波前的控制，可以在實現聚焦效果的同時，矯正光學系統中的像差，達到接近理想的聚光狀態。正因為具備這些特性，LCOS-SLM在玻璃、半導體材料等的激光加工，以及三維顯微鏡觀察等領域中有著較多應用。
其中，在激光加工的應用中，組裝了LCOS-SLM的激光加工儀器可將激光束進行分支并行加工，同時照射多點，即在移動激光束的同時對每個點進行照射，這樣的方法可提高生產效率，也正較多應用于產線上對高速移動物體的激光打標作業中。為了更多的增加激光的分支數，達到生產效率的進一步提高，對應用于高能激光打碼的LCOS-SLM的要求也愈加苛刻。其中有一個不可避免的重要問題，就是高能激光導致的LCOS-SLM過熱以及液晶熔化。秉承匠心，濱松一直致力于擁有散熱結構介質鏡的設計，力求呈現整體設計優化，實現將LCOS-SLM溫度上升控制在更低限度內，以及具備耐光特性。終于于近期為激光打標應用帶來了全新驚喜——耐光水冷型LCOS-SLM面世。（2017年5月8日正式上市）
采用LCOS-SLM 進行激光打標作業 新型LCOS-SLM除了采用了水冷型散熱器之外，散熱器與封裝是全接觸式的，封裝材料選用的也是熱傳導效率高的材料，進一步提高了散熱效率。同時，我們也在介質鏡上煞費了一番苦心。采用了濱松自主研發的成膜技術生產了電介質多層膜介質鏡。通過對電介質多層膜的設計提高了介質鏡的反射效率，以此減少激光吸收以達到降溫的作用。
從早期的鐵電物質和扭曲向列液晶結構開始，到利用光電尋址。濱松研究所和固體事業部致力于空間光調制技術已有近40年的歷史。除了產品本身的開發以外，也在推進著LCOS-SLM應用和其光學模塊的研發，新產品也從豐富的經驗中吸取了設計方面的技術知識和提高產品性能的數據參考，從而實現了新LCOS-SLM產品整體的優化，在保持與以往產品同等性能的同時，將發熱溫度控制到了原有的十分之一，并實現了耐光性，從原來的40W/cm2提高到了210W/cm2以上，因此有望用于100W級高能激光的激光打標等激光加工應用中。
濱松制冷型LCOS-SLM產品參數一覽
通過耐光性的改善，配置了新型濱松LCOS-SLM的激光加工設備，將實現在增加激光束分支個數的同時，維持作業所所需的光通量，相較以往，將提高生產效率。
今后，濱松也將繼續推進研究，進一步提高產品的耐光性，以應對面向激光加工中更高功率激光應用的需求。此外，我們也正在開發用于精細加工的短波激光相對應的產品，以期濱松LCOS-SLM家族能為更多工業及科研應用帶來更好、更實際的幫助。
